UVオゾン洗浄装置(UVOクリーナー)

UVオゾン洗浄装置(紫外線表面改質・洗浄装置)

UVO-CLEANER Damaje Free Altemative Model 144AX-100 product_114ax.jpg
ワーク表面に熱ダメージや磨耗などのダメージを与えることなく汚れを効率よく取り去ることができます。
171mm四方から600mm四方迄。 様々な大きさのワークに対応する機種がございます。

Model 144AX-100 UVOクリーニングシステムは平面水銀ランプにより紫外線を照射し、照射エネルギーとそれにより生成されるオゾンを利用、有機化合物を分解・酸化させ、ガス化して除去するので、ワーク表面に熱ダメージや磨耗などのダメージを与えることなく汚れを効率よく取り去ることができます。
ウエット洗浄と異なりゴミの再付着の心配も無く、また有機化合物による汚染もないので扱いやすく環境にもやさしいクリーナーです。


特長

  • 用途に応じて幅・高さ各種サイズをご用意しております。
  • 様々な素材に適用できるので半導体分野だけでなく、電子材料、液晶、自動車、家電、ETC等でもお使い頂けます。
  • 紫外線ランプは185nm以下の波長で熱領域を出さない為熱に敏感なワークでもダメージを与えません。
  • 低コストでの導入が可能です。
  • 処理された有機物はガス化しオゾンと共に排気口より排出されますので再付着の心配はありません。
モデル名 トレイサイズ
  (W) (D) (H)
7576 609.6 609.6 177.8
576 609.6 609.6 76.2
384 609.6 406.4 76.2
288A 609.6 304.8 76.2
256 406.4 406.4 76.2
144AX-100 304.8 304.8 76.2
42 171.45 165.1 38.1
342 171.45 165.1 101.6

仕様

  • 用途に応じて装置、トレイサイズをお選び下さい。(mm)

仕様用途例

  • セラミック基盤、液晶ガラス、ブラウン管、磁気ヘッド、クロム膜等の密着性の向上
  • Siウェハー、GaSa ウェハー、レンズ、ミラー、太陽電池パネル、等のクリーニング、密着性の向上
  • ダイシングテープの粘着性の低減と種類により向上
  • レジストのハードニング促進、アッシング、残カスの除去
  • FPD/PDPのクリーニング
  • ウェハーの酸化層の増大
  • その他、各種材質のクリーニング、密着度向上、酸化層、強、硬化等
  • バイオケミカルの殺菌等

オプション

  • Suprasil UV Lamp
  • オゾンキラーユニット
  • 排気ユニット
  • 紫外線照度計