ウェハクリーナー(洗浄装置)

卓上型ウェハー自動洗浄装置(ウェハークリーナー)

Wafer Cleanin System Model UH117 product_uh_117.jpg
プログラム方式のテーブルトップ型洗浄装置で、リンス・洗浄・乾燥の連続操作が可能です。ウェハーダイシング、研磨後の洗浄に最適です。

UH117卓上型ウェハー自動洗浄装置(ウェハークリーナー)は、ダイシング後のウェハーの洗浄に最適な小型ウェハー洗浄装置です。
操作方法は、半自動化されているので、LCDのタッチパネルを通して設定を簡単に行うことが出来ます。ウェハーの洗浄はマイコン制御されているので、正確かつ柔軟にウェハーの洗浄を設定をすることが出来ます。設定した洗浄方法の内容を繰り返し利用することが出来ます。また異なった設定を10スケジュールまで記憶させることが出来る上、クリーニング/リンス/乾燥ステップを最長999秒以内でプログラムを行うことが出来ます。
UH117は、8インチのウェハー、又は、フレームリングやグリップリングにマウントされた6インチのウェハーを洗浄することが出来ます。また注入口が備え付けられていますので、他の洗浄液を注入して洗浄能力をより効率よくする事が出来ます。またホット、クール・ドライモードの両方のモードを利用することにより、すばやく、効率よく洗浄、乾燥を行うことが出来ます。


特長

  • LCDタッチパネルだから簡単設定。
  • 最大10条件まで記憶可能。
  • コンパクトな卓上型。
  • コンパクトなテーブルトップタイプ。
  • 外部注入口からユーザーの使用したい洗浄液を加えることが可能。
  • 研究・開発・生産のどんな場合でも使用することが出来ます。
    ホット、クールの両乾燥モードを使用することが出来ます。

機種

  • Model UH117 6インチまで対応
  • Model UH118 8インチまで対応