ウェハーマウンター/フィルム貼り付け装置

ウェハーマウンター(フィルム張り付け装置)

Wafer/Frame Film Mounter Model UH114 product_uh_114.jpg
加圧ローラーにより気泡を作らずフィルムをウェハーに貼り付けます。

Model UH114フィルムフレームマウンターはフィルムにテンションを張り加圧ローラーで貼り付けるので、気泡を作らず均一に貼り付ける事ができます。
ステージは加熱式でテープの糊むらを無くし、サークルカッターはフレームに合わせてテープをカットします。
またModel UH114は様々なワークやテープ、フレームに対応可能で、調整は作業位置からできる設計となっております。
ワークに応じ各種オプションも取り揃えております。


特長

  • コンパクトなベンチトップ型。
  • 加圧ローラーにより気泡を作らずフィルムをウェハーに貼り付けます。
  • ほぼ全種類のフィルムとフレームに対応します。
  • セパレーター巻き取り機構内臓。
  • 貼り付けローラー加圧力・フィルムテンション張力等の調整可能です。
  • ステージはテフロンコーティング加工でワークを保護し、真空チャックで固定します。

機種

  • Model UH114 3in~6inまで対応(ステージ交換により各サイズに対応致します。)
  • Model UH114-8 8in対応
  • Model UH114-12 12in対応