フィルムリムーバー

保護フィルム剥離装置(フィルムリムーバー)

Wafer Backgrinding Film Removers Model UH110 product_uh_110.jpg
ウェハーバックグラインド後の、ウェハー表面に貼り付けた保護フィルムを、短時間でスムースに剥離いたします。

スタートボタンを押すのみで、ウェハーにストレスを与えず、短時間でスムーズな剥離作業をいたします。モデルUH110/110-8保護フィルム剥離装置(フィルムリムーバー)は、3インチから8インチ迄のウェハーに対応可能。ウェハー上の保護フィルムに、高粘着のテープを貼り付け180°方向に引き剥がす為、ウェハーへのストレスも皆無です。ステージにウェハーを乗せ、スタートボタンを押すのみで、作業はいたって簡単です。


 特長

  • 作業性に優れている。
  • スループット 200枚/時
  • ステージ温度(MAX70℃)
  • コンパクトなテーブルトップタイプ
  • オペレーターの“skill”を必要としない。
  • ピーリングテープの交換もすばやく行えます。
  • 剥がした保護フィルムも、簡単に捨てる事が出来ます。

機種

  • Model UH110 3~6インチまで対応。(ステージ交換により各インチサイズに対応いたします。)
  • Model UH110-8 3~8インチまで対応。(ステージ交換により各インチサイズに対応いたします。)